大型加圧減圧式電気炉

クラッチ機構を用いた加圧減圧式電気炉です。
製作から組立まで非常に技術を要する製品です。
内径φ1600mm

特殊試験装置

特殊な試験を行う装置です。容器、配管の製作から組立まで自社で行っています。微調整が必要な組立等は、弊社の得意とする所です。

ウェブコーター

R&D向けウェブコーターです。
PET等のフィルムにスパッタにより成膜します。
巻き上げトルクはフィードバック制御です。
幅600mmまで対応しています。
詳細はお気軽にお問合せ下さい。

小型スパッタリング装置

真空中で基板を自動搬送します。
ターゲットは3種類取付可能です。
コンパクトな設計でリーズナブル
使い勝手の良さを追求しました。

真空蒸着装置

排気系のメインポンプは大型のTMPを使用しています。
EBと抵抗加熱が付いています。

スパッタ装置

インライン型のスパッタ装置です。
ターゲットを4種類取付られます。
DC・RFの2電源で多層膜が出来ます。
基板加熱はランプヒータにより可能。
排気系はドライです。

プラズマ実験装置

高温プラズマの実験装置です。
極薄の金属板で構成しています。
制御用のコイルが付いています。

超高真空排気ユニット

排気ユニットの製作も承ります。
DP＋RPやTMP、クライオを使用した物も出来ます。
ポンプ等の販売も致します。

小型ウェブコーター

超高真空用チャンバー

チャンバーにTiNコーティングを施しています。
超高真空もお任せください。

自公転機構

スパッタ用自公転機構。
真空中でパルスモータを駆動。

蒸着装置自動制御盤

マニュアルの装置を自動制御にする制御盤です。
古い装置に最新の制御を載せるこ事もできます。

巻き取り制御

ロールtoロールの巻き取り制御盤です。メカロスキャンセルや微小テンションコントロール、往復送り、可変速度等多彩な制御が可能です。

アッセンブリー

チャンバー製作から、組立、電装まで、全て社内にて行えます。特に研究、開発用装置の設計、製作を得意としています。

含浸装置ライン

含浸、湯浸、洗浄のラインです。
全て社内で加工、組み立てまで行っています。
加圧から真空まで制御もお任せ下さい。

加圧チャンバー（容器）

真空だけでは無く、加圧タイプの容器も出来ます。
写真の物はクラッチ（急速開閉機構）を使用した加圧容器です。
真空～加圧まで連続使用できる物もご提案できます。

真空・加圧炉容器

前後扉クラッチ使用。
φ2500mm　総重量25t
加圧容器も多くの実績が有ります。
（第2種圧力容器）

プラズマエミッター

プラズマエミッター
タングステンメッシュヒーター

イオンガン

大学向けのイオンガンの取り付け状態です。

コニカルチャンバー

プラズマ発生用チャンバーの一部です。
内面400番研磨

圧力容器用フランジ

強度計算された部品を一次機械加工した部品に溶接によりアッセンブリーします。各工程は写真等で記録しています。溶接後、二次機械加工、漏れ検査を行います。

チャンバー加工

真空熱処理炉、加熱炉等のチャンバーは水冷ジャケット式になっています。各ポートを取付するときに、パイプ接続部は径に合わせて機械加工をします。隙間が小さくなるので、溶接のひずみが少なく、位置精度も良い製品ができます。

洗浄用タンク

用途に合わせて、様々な容器を製作します。
材質は鉄系、ステンレス系、どちらでも可能です。

X線検査

お客様のご要望があれば、X線検査も可能です(協力会社にて）。
圧力容器も常時製作しています（第2種圧力容器）。

大日金属製 CNC旋盤 DL530

CNC旋盤を新たに導入しました。
精度の高い部品も対応可能です。

ALDバルブユニット

ALD装置向けのユニットも製作しています。

高品位溶接

チャンバーの製作に欠かせない溶接。
ICFや各接続部の溶接には高品位な品質が要求されます。
弊社では熟練の技術を持った職人により溶接をしています。加工には自信があります！

AL機械加工

SUSはもちろん、ALの削り出しのチャンバーも製作します。
加工面には細心の注意を払っています。
真空装置を手掛けている弊社だからこその加工技術です。

SUS機械加工

ステンレス容器のフランジ面は真空をシールする重要な部分です。熟練の技でピカピカに仕上げます。